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ILMVAC Vacuum System  
Haskel Gas Compressor

德国ILMVAC实验室真空泵系统
泵类别
真空压力范围
流量范围
主要特点
旋片泵
能达到1 x 10-3
1.8 m3 /h~630.0 m3 /h
能达到高真空,耐水蒸性能力强,体积小,重量轻,耐用。
隔膜泵
化学隔膜防腐泵
<2mbar ~ <75mbar
可达到300 L/s
干式运行,抗化学腐蚀,电机终身免维护,使用环保,方便干净。
螺旋泵
可达7 × 10 -2mbar
9.5 m3 /h -~14.5 m3 /h
既能达到高真空,又能高温运行,集中了旋片泵和隔膜泵的优点,抗化学腐蚀。
涡轮分子泵
可达1 × 10 -8mbar
20 L/s ~1050 L/s
能达到极高真空,干式运行,使用方便;前泵和后泵合为一体,自动转换。
油扩散泵
可达1 × 10 -6mbar
110 L/s ~210 L/s
能达到特高真空,干式运行,使用方便;前泵和后泵合为一体,自动转换。体积小重量轻。
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